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在过去的35年里,Plasma-Therm 一直致力于专业市场,其中包括固态照明、无线、微机电系统、数据存储、太阳能、纳米技术、光掩膜和光子学。我们专业从事各种蚀刻和沉积技术,包括ICP、RIE、DSE??、PECVD和HDPCVD。