微/纳机电系统 （MEMS/NEMS）

MEMS和NEMS技术领域包括微机电系统和更小的纳米机电系统。MEMS和NEMS器件正在迅速扩展到新的应用，其中包括范围从传感器到无源器件的客户和工业产品。

这些器件的典型应用涉及以下领域：

• 电子产品

• 射流学

• 力学

• 磁学

• 声学

• 光学

喷墨打印机、陀螺仪、加速度计和振荡器只是商业化设备一个很小的组成部分。

MEMS和NEMS器件的多样性需要我们从根本上理解其制造流程。

Plasma-Therm 已经开发以下技术来解决与硅和深度氧化物蚀刻有关的复杂流程。

• 参数变形的剖面控制（拥有专利）

• 侧壁光滑，缩短流程单步时间

• 快速气体转换（拥有专利）

• 快速和稳定的压力控制（拥有专利）

• 固态射频调谐

• 无级硅绝缘体蚀刻（专利申请中）

• 创新的RF偏压波形

• 拥有专利的端点技术算法

• 减少依赖长宽比的蚀刻（专利申请中）

• 流程稳定性（温度稳定的ICP）

这些技术的应用带来了无与伦比的流程灵活性和纬度。此外，这些技术还带来了业界领先的光掩膜材料的选材水准。

Plasma-Therm为MEMS /NEMS行业不断开发出有针对性的解决方案。

产品

• VERSALINE^®