光子学
光电子市场主要基于复合半导体材料，通常包括发射、反射、传输或吸收光子的器件。这个市场的典型设备包括：
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激光器
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微透镜
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阵列波导（AWG）
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红外探测器
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光开关
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光栅
Plasma-Therm在复合半导体领域的丰富经验使它成为光电市场的领先供应商。可以支持研发和生产的需要。Plasma-Therm拥有1300多个系统的安装基地，已开发出流程信息库。
典型应用
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蚀刻
- 锑化铟
- 碲镉汞
- 磷化铟
- 砷化镓/砷化铝镓/砷化铟镓
- 二氧化硅
- 氮化硅
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沉积
- 二氧化硅
- 氮化硅
- 可调指数（氧氮化物）
产品
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