固态照明
面对飞涨的能源成本和日益增多的全球环保措施，对高能效的固态照明的需求成倍增加。 氮化镓基复合半导体的电致发光特性提供了基于高亮度LED的新的高照明产业的基础。
在15年以上的时间里，Plasma-Therm 一直是领先的LED制造商的供应商。凭借在蚀刻氮化镓（GaN）、图案蓝晶石基板（PSS）和碳化硅（SiC）以及沉积氧化硅（SiO2）和氮化物（氮化矽）方面的专业技术，Plasma-Therm有机会与成熟的行业领袖以及规模较小的创业公司合作。
Plasma-Therm产品系列包括适用于从研发到大批量生产的各类应用的设备。单晶片和批量夹紧的创新性解决方案提供了最前沿的蚀刻速率表现。此外，维护间隔长是闭环温度控制源的标准特点。低维护率有助于降低Plasma - Therm系统的拥有成本。
典型应用
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蚀刻
- 氮化镓蚀刻
- 碳化硅
- PSS（有图案的蓝晶石基板）
- 磷化铝铟镓（及相关材料）
- 磷化镓
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沉积
- 氮化矽PECVD应力控制高速率，具有优良的保形特点
- 二氧化硅--高分解电压，低应力，低温
产品
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