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RIE and PECVD용 수동 loading 790™  |
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790™ Series
790™ 플랫폼은 비용 대비 높은 효율을 나타낸 790™ 시리즈 중 최신제품입니다. 전 세계 각지에 설치되어 RIE 와 PECVD configuration에 적용되고 있으며 실제 사용되고 있는 현장에서 낮은 유지비용을 나타내고 있습니다. R&D 에서 양산공정에서까지 모든 공정에서 쉽게 사용 가능합니다. 790™ 시리즈는 뛰어난 성능을 발휘하여 고객이 선호하시는 플랫폼 중 하나입니다.
프로세스 제어
- 다양한 endpoint 기술을 적용 가능한 EndpointWorks
생산력향상
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