|
Áö³ 35³â°£ Plasma-ThermÀº °íüÁ¶¸í(Solid state light, SSL), ¹«¼±±â¼ú, MEMS, µ¥ÀÌÅÍ ½ºÅ丮Áö, ž籤 »ê¾÷, ³ª³ë»ê¾÷, Æ÷Å丶½ºÅ© ¹× Æ÷Åä´Ð½º µîÀÇ Æ¯¼ºÈµÈ ºÐ¾ß¿¡ Á¦Ç° ¹× ±â¼úÀ» Á¦°øÇØ¿ÔÀ¸¸ç ƯÈ÷ ICP, RIE, DSE¢â, PECVD ±×¸®°í HDPCVD µîÀÇ Etch ¹× Deposition ÀÇ ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡ Àü¹®¼ºÀ» °®Ãß°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
|