나노기술
나노기술은 원자 및 분자 단위의 원재료에 대한 사용 및 연구를 일컫습니다. 일반적으로 단일면적 100nm이하를 다루며 어플리케이션을 이용해 제약, 전기, 에너지 생산에서 새로운 재료와 장치를 만들어 낼 수 있는 기술입니다.
나노기술의 중요성을 인지하고 DSE™ 및 포토마스크 분야의 주요기술을 차용하여 Plasma-Therm은 성장일로에 있는 나노시장의 요구에 부응하고 있습니다.
오랜 기간 동안 나노기술 분야에서의 긴밀한 협력관계와 R&D 시장에서의 광범위한 영향력으로 Plasma-Therm은 고객사에 연구 및 개발 목표를 달성할 수 있도록 도움을 드리고 있습니다.
일반 어플리케이션
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Gratings
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Channels
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Arrays (e.g. patterned media)
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Film stacks
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고식각비율 구조
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저온deposition
gratings 및 arrays etching은 III-V 재료를 위해 저전력으로 가능합니다.
석영을 재료로한 nano imprint structure는 Plasma-Therm의 포토마스크 프로그램을 확대 적용하므로써 가능하였습니다.
나노구조 Deposition 공정에서는 silicon nitride, silicon oxide, oxy-nitrides 및 비결정 실리콘을 포함한 저온 PECVD 공정 기술을 보유하고 있습니다.
Plasma-Therm의 다양한 장비로 공정에 맞게 다양한 어플리케이션을 찾아드립니다. 한 예로, 대기 loading에서 대형 cassette-to-cassette format까지 다양한 시스템을 구비하고 있습니다.
각각의 장비는 최소의 조정을 거쳐 다양한 공정을 커버할 수 있습니다.
제품
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