English Korean Chinese
 

½æ³×ÀÏ À̹ÌÁö¿¡ ¸¶¿ì½º Ä¿¼­¸¦ ´ë½Ã¸é Å« À̹ÌÁö·Î º¸½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù
Æ÷Åä´Ð½º ¾îÇø®ÄÉÀ̼ÇÀ» À§ÇÑ Etch and PECVD Á¦Ç° ¼Ö·ç¼Ç1
 
 

Æ÷Åä´Ð½º

Æ÷Åä´Ð½º ½ÃÀåÀº È­ÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÏ¿© ±¤ÀÚ¸¦ ¹Ý»ç, ¹æ»ç, Àü¼Û, Èí¼öÇÏ´Â ÀåÄ¡¸¦ Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù. ÁÖ¿ä ÀåÄ¡´Â ´ÙÀ½°ú °°½À´Ï´Ù:

  • ·¹ÀÌÀú

  • ¸¶ÀÌÅ©·Î ·»Áî

  • ¹è¿­ µµÆÄ°ü(Arrayed Waveguides, AWG)

  • IR °¨Áö±â

  • ±¤ÇÐ ½ºÀ§Ä¡

  • °ÝÀÚ(Gratings)

  • Gratings

È­ÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼¿¡¼­ÀÇ Æø³ÐÀº °æÇèÀ¸·Î, Æ÷Åä´Ð½º ½ÃÀåÀÇ ÁÖ¿ä °ø±ÞÀڷμ­ÀÇ È®°íÇÏ°Ô ÇÏ°í ¿¬±¸¼ÒºÎÅÍ »ý»ê¶óÀαîÁöÀÇ ¿ä±¸¸¦ ÃæÁ·Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. 1300´ë ÀÌ»ó °ü·Ã Àåºñ°¡ ¼³Ä¡µÇ¾î Plasma-ThermÀº °ü·Ã ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ¹æ´ëÇÑ Á¤º¸¸¦ º¸À¯Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.

ÀÏ¹Ý ¾îÇø®ÄÉÀ̼Ç

  • Etch
          - InSb
          - HgCdTe
          - InP
          - GaAs/AlGaAs/InGaAs
          - SiO2
          - Si3N4

  • Deposition
          - SiO2
          - Si3N4
          - Tunable Index (Oxy-Nitride)

Á¦Ç°

 

»ó¼¼ À̹ÌÁö

 
 

 

¹®ÀÇ»çÇ×À̳ª Á¤º¸°¡ ÇÊ¿äÇϽøé email: information@plasmatherm.com À̳ª ÀüÈ­+1.727.577.4999·Î ¿¬¶ôÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.