 |
½æ³×ÀÏ À̹ÌÁö¿¡ ¸¶¿ì½º Ä¿¼¸¦ ´ë½Ã¸é Å« À̹ÌÁö·Î º¸½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù |
 |
Æ÷Åä´Ð½º ¾îÇø®ÄÉÀ̼ÇÀ» À§ÇÑ Etch and PECVD Á¦Ç° ¼Ö·ç¼Ç |
|
 |
| |
| |
|
 |
 |
Æ÷Åä´Ð½º
Æ÷Åä´Ð½º ½ÃÀåÀº ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÏ¿© ±¤ÀÚ¸¦ ¹Ý»ç, ¹æ»ç, Àü¼Û, Èí¼öÇÏ´Â ÀåÄ¡¸¦ Æ÷ÇÔÇÕ´Ï´Ù. ÁÖ¿ä ÀåÄ¡´Â ´ÙÀ½°ú °°½À´Ï´Ù:
-
·¹ÀÌÀú
-
¸¶ÀÌÅ©·Î ·»Áî
-
¹è¿ µµÆÄ°ü(Arrayed Waveguides, AWG)
-
IR °¨Áö±â
-
±¤ÇÐ ½ºÀ§Ä¡
-
°ÝÀÚ(Gratings)
-
Gratings
ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼¿¡¼ÀÇ Æø³ÐÀº °æÇèÀ¸·Î, Æ÷Åä´Ð½º ½ÃÀåÀÇ ÁÖ¿ä °ø±ÞÀڷμÀÇ È®°íÇÏ°Ô ÇÏ°í ¿¬±¸¼ÒºÎÅÍ »ý»ê¶óÀαîÁöÀÇ ¿ä±¸¸¦ ÃæÁ·Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. 1300´ë ÀÌ»ó °ü·Ã Àåºñ°¡ ¼³Ä¡µÇ¾î Plasma-ThermÀº °ü·Ã ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ¹æ´ëÇÑ Á¤º¸¸¦ º¸À¯Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÏ¹Ý ¾îÇø®ÄÉÀ̼Ç
-
Etch
- InSb
- HgCdTe
- InP
- GaAs/AlGaAs/InGaAs
- SiO2
- Si3N4
-
Deposition
- SiO2
- Si3N4
- Tunable Index (Oxy-Nitride)
Á¦Ç°
|
|
»ó¼¼ À̹ÌÁö
¹®ÀÇ»çÇ×À̳ª Á¤º¸°¡ ÇÊ¿äÇϽøé email: information@plasmatherm.com À̳ª ÀüÈ+1.727.577.4999·Î ¿¬¶ôÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
|
 |