솔리드 스테이트 라이팅(SSL)
급등하는 에너지 비용과 글로벌 녹색산업의 성장으로 인해 에너지 효율적인 솔리드 스테이트 라이팅(SSL)에 대한 수요가 급증하고 있습니다.
고조도 LED를 기본으로 한 새로운 조명산업에 GaN 화합물 반도체를 기반으로 한 전기 조명이 기초를 제공하였습니다.
Plasma-Therm은 15년간 주요 LED 제조사에 제품을 공급하였습니다. silicon oxide (SiO2), silicon nitride(SiNx)뿐만 아니라 etching gallium nitride (GaN), 패턴화 사파이어 기판 (PSS), 실리콘 카바이드(SiC)에도 전문성을 갖추어 시장에 진출하는 소규모 기업뿐만 아니라 업계 선두기업에 까지 파트너로서 좋은 기회를 제공하고 있습니다.
Plasma-Therm은 R&D에서부터 양산용 제품까지 제품군을 고루 갖추고 있습니다. 단일기판 및 batch clamping에도 최첨단 etch rate performance를 자랑하는 혁신적인 솔루션을 제공합니다. 또한, 폐쇄 루프온도 제어소스를 사용하여 유지보수 기간의 간격을 연장하여 제품의 기준을 제시하였습니다. Plasma-Therm 제품의 낮은 유지보수율은 비용절감에도 도움이 됩니다.
일반 어플리케이션
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Etch
- GaN etch
- SiC
- PSS (패턴화된 사파이어 기판)
- AlGaInP (및 계열 재료)
- GaP
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Deposition
- SiNx PECVD 뛰어난 등각도와 높은 dep. rate에서의 스트레스 제어
- SiO2 — 높은 breakdown voltage, 낮은 스트레스, 낮은 온도
제품
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